サグ試験(SEMI F47/F42)評価

半導体製造装置/SEMI規格で要求されるサグ試験はお任せください!
可搬型試験装置をそろえており、出張測定もします。

サグ試験装置と試験能力

100Aの電流容量で大電流機器の測定にも対応できます。

サグ試験装置 試験能力

サグ試験装置

項目 仕様
相線式 単相2線/三相3線/三相4線
電圧 AC 0 ~ 480V 50/60Hz
電流 AC 0 ~ 100A
サグ/スウェル 電圧範囲 0~ 125%
時間幅 0.1サイクル~34秒
位相 0~ 359度

サグ試験/スウェル試験

電圧の瞬時低・停電圧試験であるサグ(SAG)試験のほかに、瞬時電圧上昇試験であるスウェル(SWELL)試験もできます。

  • サグ試験波形

    サグ試験波形

  • スウェル試験波形

    スウェル試験波形